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干法設備應用

東莞市建盟化學有限公司提供世界知名品牌半導體晶圓制造干法設備應用工藝技術,干法設備應用包括干法刻蝕種類較多,常見的有等離子體刻蝕(分為圓筒型和平行電極型)、反應離子刻蝕、濺射刻蝕、離子束刻蝕、反應離子束刻蝕等。相應的設備就有等離子體刻蝕機、反應離子刻蝕機、離子束刻蝕機等。

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