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外延氣體應用

東莞市建盟化學有限公司提供世界知名品牌外延氣體應用工藝知識,外延氣體應用包括硅外延氣體有4種,即硅烷,二氯二氫硅,三氯氫硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,淀積氧化硅膜,淀積氮化硅膜,太陽能電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。此外延層的電阻率往往與襯底不同。

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