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晶圓拋光粘合劑

晶圓拋光粘合劑

晶圓拋光粘合劑經過研磨和退火處理后,晶圓背面涂上粘合劑并通過熱風干燥,然后粘合到氧化鋁板上。該產品通過金剛石漿料拋光的第一道工序和膠體二氧化硅拋光的第二道工序將晶片與氧化鋁板緊密結合。即使在拋光之后,也很容易從板上分離晶片。

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產品詳情


晶圓拋光粘合劑特征

?SPA系列:藍寶石晶片拋光用粘合劑;

?高軟化點和優異的耐熱性;

?無粘合性;

?優異的旋涂性能。


晶圓拋光粘合劑工藝應用參數

型號

SPA-140

SPA-230N

成分

天然樹脂酯

天然樹脂酯

外貌

藍色液體

藍色液體

固含量(%)

40 ± 0.5

40 ± 0.5

粘度(cps 25℃)

5~10

5~10

比重(25℃)

0.87 ~0.89

0.87 ~0.89

酸值(mgKOH/g)

70~75

70~75

軟化點(℃)

85~90

85~90

溶劑

2-丙醇 (IPA)

1-丙醇(正丙醇)


下載資料
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