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英國Edwards愛德華EH250機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是最受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01至10mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。 機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。
英國Edwards愛德華EH250機械增壓泵應用
半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光。
英國Edwards愛德華EH250機械增壓泵功能和優勢
適用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。EH泵具有高質量的無油泵送機械裝置。
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