Anti-static unit/防靜電單元裝置原理

通過調整用二氧化碳溶解模組(參照右上圖)生成的二氧化碳飽和水和超純水的混合比率，可調節超純水的電阻率值。

CO2溶解原理

DIW在模組內的中空纖維膜內部流動。其間，從中空纖維膜外側CO2溶入DIW內。溶解的二氧化碳在DIW內發生離子化，可使DIW具有導電性，消除靜電。由于使用微細中空纖維膜束，可以有效獲得二氧化碳溶解所需要的表面積。eFLOW2. 3A*型裝載有兩個二氧化碳溶解模組。

Anti-static unit/防靜電單元定制規格·裝置

清潔規格(流量～30L/min);低電阻率(0.025～0.05MΩ·cm)型;小型·電氣部分離型;大流量(100 L/min)型;其他 可定制。

Anti-static unit/防靜電單元主要用途

? 掩模、網袋的清洗? 洗滌器清洗? 高壓噴射清洗? 切割工序的清洗? 槽清洗

Anti-static unit/防靜電單元性能參數

P Series可安裝在符合EIA（美國電子工業協會）規格的支架上。1AP型為標準機，連接部全清潔規格，2AP型為選購件，可對應全清潔規格。