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晶圓儲存箱用于晶圓的安全儲存和運輸。在運輸過程中，晶圓載具移動和晶圓顫動可能會導致顆粒產(chǎn)生。能夠使用相同的盒子和存儲晶圓，減少摩擦和污染風險，用于在工藝之間轉移或調度，不能用于化學工藝。
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